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螺杆式無油幹式機械真空泵原理及簡介

隻有螺杆***末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺杆的各級間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺杆各部的間隙時,要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境(如抽除含粉塵氣體等)等。該泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。    

        泵是立式結構,進氣口在上方,排氣口在中部,下部為電機和潤滑油池。螺杆轉子呈中空形,為懸臂支承結構。同步傳動齒輪位於軸承支座下麵。變頻電機通過聯軸節與主動轉子連接。該泵的氣體路徑較短,且立式結構對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻,泵維修也便利。   

 

        這種類型的泵如果選用適當的較簡單螺杆牙型截麵,則製造簡單,可保證很高的加工精度,且容易動平衡。

例如,在目前微電子學及其納米級電子材料和元器件的發展中。對真空係統不僅要求采用高真空、超高真空和真空氣氛清潔無油,而且要求耐腐蝕、耐粉塵 。 為了適應這些要求,在真空獲得設備中製造各種於式泵、耐腐蝕泵,進一步發展磁懸浮式分子泵和能夠避免強磁場及等離子體對渦輸分子泵金屬轉子產生渦流發 熱的用陶瓷做成轉子的新型分子泵,是很必要的。在真空測量方麵,我國與國外也存在較大的差距,主要表現在真空規管的結構,電子線路的設計,集成電路和自動換擋及數字顯示等新技術的采用上。因此盡快的改變我國真空測量儀器的現狀,促進這一技術向多用化、自動化及體積小、外形美等方麵發展,也是一個重要的問題。此外,追趕當前國際上在極高真空測量和特殊條件下的真空測量頸域中的先進水平、也是我國真空工作者一項責無旁貸的艱巨任務。